天然氣臺車爐的使用注意要點[2022-03-15]使用天然氣臺車爐的注意事項：1.引入使用點的天然氣干管上的主封頭關閉閥應安裝在安全、干燥的操作場所，并應無泄漏和保持良好狀態。有油水分離器或排水管時，污水應每班排放一次；...詳情>>

聊聊臺車退火爐反應腔體的設計[2022-03-15]當前在臺車退火爐中，爐腔大多數為對稱設計，一般為圓形或六角形，因此大部分的燈排列都采用同心圓形式?？焖偻嘶馉t反應腔體結構形式的設計難點在于磁懸浮硅片旋轉驅動機構...詳情>>

簡析臺車爐系統的熱設計[2022-02-28]與傳統的高溫爐相比，快速退火臺車爐工藝的較大優點是避免了雜質的再擴散。減少晶圓加工過程中的熱預算。該工藝的基本過程是通過晶圓轉移機械手將待加工的晶圓送入加熱室。...詳情>>

淺談臺車退火爐系統的總體組成[2022-02-28]根據相關方案分析與研究，確定臺車退火爐系統采用燈光輻射型熱源加熱硅片，硅片表面溫度測量采用單點測溫方式，確定了系統總體結構設計方案。方案具有占地面積小、結構緊湊...詳情>>

臺車退火爐未來的發展表現在哪幾方面？[2022-02-15]有研究得知，臺車退火爐未來的發展表現在以下幾個方面∶（1）在設備的前端配置與SEMI標準規定的標準機械接口（SMF）。設計能夠與工廠自動化的硅片傳輸系統（Aut...詳情>>

淺談臺車爐系統人機接口界面的開發[2022-02-15]在臺車爐系統中，工業人機接口界面監控編程系統為PCS7系統集成的WinCCV6.1上位編程軟件。其應用范圍從建筑能源管理控制系統到工業系統，包括系統控制器、數據...詳情>>

臺車爐部件維護及其優點的簡述[2022-01-18]一、臺車爐部件的維護：只要保障臺車退火爐各元件的正常運行，就可以保障整個臺車退火爐的正常運行，因此，在臺車退火爐的維護中，應格外注意臺車退火爐部件的維護，接下來...詳情>>

調試臺車退火爐的小結[2022-01-18]一、機械傳動部分的調試：臺車退火爐的機械傳動部分相對簡單，主要包括臺車運行的調試、爐門的提升和密封壓緊機構。機械安裝調整后，小車驅動的鈍齒與銷架嚙合在空載或滿載...詳情>>

臺車爐氣氛平衡控制系統程序的設計[2022-01-05]在臺車爐氣氛平衡控制系統程序的設計過程之中，為實現過程控制效率性和安全性，需要整體的多方面考慮，充分發揮硬件的功能。1、控制系統功能結構設計：根據退火爐氣氛平衡...詳情>>

臺車退火爐控制系統的硬件設計[2022-01-05]據悉，多數臺車退火爐采用PCS7控制系統解決方案，其控制器質量較好、功能較強，連續退火爐控制系統設計配置了遠程輸IV/O達1178點，但還達到PLC60%的負荷...詳情>>