我廠生產的高溫退火爐，結構合理、操作維護方便;爐子隔熱、保溫性能良好，熱效率高、節能顯明;升溫快、爐溫均勻、穩定性好;工作室氣密性能好，處理工件達到了無氧化、不脫碳的成果;自動化程度高、功能全、測控準確、精度高;保護安全生產的設施完善、報警功能全，生產安全;噪聲小、沒損害氣體、無粉塵污染環境，工作條件好。我廠所生產的退火爐設備在出廠前均會進行檢測，合格后方可投入市場。

　　該高溫退火爐主要由真空系統、高溫加熱系統、磁體系統和冷卻系統4部分組成。

　　1、真空系統：

　　真空系統采用TRP-12直聯機械真空泵與F110渦輪分子泵兩級串聯，室溫下本底真空度可達到5×10-5Pa。

　　2、高溫加熱系統：

　　高溫退火爐采用鉑絲發熱體，單鉑銠熱電偶測溫。樣品臺、發熱體以及熱電偶置于雙層陶瓷保溫層之中，可以保障爐體中心達到較高的溫度，并能實現溫度的速度上升。樣品臺是由鋼制成的15mm×45mm×100mm長方體容器，可達到常規薄膜樣品的退火要求。鉑絲發熱體均勻纏繞在長方體容器周圍，熱電偶置于長方體容器的上方，可保障測溫的準確性?？販夭糠掷肍P93可編程PID調節器，配用PACI5P-01A單相晶閘管移相觸發板，可以實現4段編程，每段10步，可以達到復雜退火條件的設置要求。

　　3、磁體部分：

　　磁場采用固定雙線圈及全波∏型整流，通過調壓、調流方式控制磁場強度，磁場線圈電流由數顯5位直流電流表顯示。長時間使用時，較大磁場強度為500奧斯特，短時間使用之時磁場強度可達900奧斯特。

　　4、冷卻部分：

　　高溫退火爐的冷卻部分使用水冷和風冷相結合的方式，當爐內溫度高于40℃或磁場電流大于2.5A時，可通入冷卻水冷卻。